SEM扫描电镜

功能及应用范围：

该仪器可用于金属材料（钢铁，冶金，有色，机械加工）和非金属材料（化学，化工，石油，地质矿物学，橡胶，纺织，水泥，玻璃纤维）等材料的检验和研究。能够表征金属材料，陶瓷材料，半导体材料，化学材料的微观形貌，组织，成分。可观察各种材料的形貌组织，材料的断口分析和失效分析，可实时微区域成分分析，元素定量，定性成分分析。可以快速多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体，晶粒的相鉴定，晶粒的尺寸，形状分析，晶体，晶粒取向测量。

技术指标：

 分辨率：1nm@30KV

 放大倍数：10~1000000×

 加速电压：调整范围0.02~30KV(无需减速模式实现)

 探针电流：3pA~20nA

 低真空范围：2~133Pa

 样品室：365mm（φ），275mm（h）

 样品台：5轴优中心全自动

   X=125mm

   Y=125mm

   Z=50mm

   T=-100~900

   R=3600连续

 控制系统：SmartSEM操作系统

 存储分辨率：32K~24Kpiels